
Penjana oksigen PSA untuk semikonduktor
Description/kawalan
Parameter teknikal
Mengapa industri semikonduktor memerlukan penjana oksigen PSA?
Bekalan Gas Kecaman Tinggi:Pembuatan semikonduktor mempunyai keperluan yang ketat terhadap kesucian gas, dan oksigen kemelut tinggi sangat diperlukan untuk litografi, pembersihan dan pautan lain. Dengan bantuan teknologi penjerapan swing tekanan, penjana oksigen PSA menghasilkan oksigen dengan kesucian 95%± 3%, yang memenuhi keperluan pembentukan lapisan oksida dan pembersihan wafer, dan mengelakkan risiko pencemaran kekotoran bekalan oksigen silinder gas tradisional.
Pastikan kestabilan proses:Barisan pengeluaran semikonduktor memerlukan bekalan gas yang berterusan dan stabil. Penjana oksigen PSA menggunakan menara penjerapan berganda untuk bekerja secara bergantian, dan melalui kawalan pintar PLC, ia dapat mencapai 24- jam bekalan oksigen yang tidak terganggu, elakkan gangguan pengeluaran yang disebabkan oleh penggantian botol manual, dan menyesuaikan diri dengan proses yang sensitif terhadap tekanan udara seperti pemendapan filem nipis dan etching.
Mengurangkan kos dan mengoptimumkan ruang:Berbanding dengan tangki penyimpanan oksigen cecair dan silinder gas tekanan tinggi, penjana oksigen PSA menghasilkan oksigen di tapak, sangat mengurangkan kos pengangkutan dan penyimpanan. Ia mempunyai jejak kecil dan menyokong pengembangan modular, yang memenuhi keperluan memaksimumkan penggunaan ruang dalam bengkel bersih kilang semikonduktor. Kos penggunaan jangka panjang adalah kira-kira 20% lebih rendah daripada kaedah tradisional.
Menyesuaikan diri dengan proses khas:Dalam proses lanjutan, beberapa proses khas memerlukan kawalan yang tepat terhadap kepekatan oksigen. Penjana oksigen PSA secara fleksibel boleh menyesuaikan kesucian output oksigen (95%-99. 9%) dengan menyesuaikan tekanan penyerapan dan nisbah ayak molekul untuk memenuhi keperluan proses khas pembuatan memori flash 3D NAND.
Mesra alam dan mudah dijaga:Teknologi PSA tidak memerlukan reagen kimia, dan proses pengeluaran oksigen tidak memancarkan bahan yang berbahaya, yang memenuhi piawaian perlindungan alam sekitar industri semikonduktor. Peralatan ini menggunakan keluli tahan karat gred makanan dan saringan molekul pembersihan diri, dengan kitaran penyelenggaraan sehingga 3-5 tahun, dan sesuai untuk persekitaran pembuatan wafer yang tinggi.

| kategori | Butiran parameter |
| Kesucian oksigen | 93% -99. 5% (sistem penapisan ULPA boleh disesuaikan, kandungan kekotoran kurang daripada atau sama dengan 1PPB) |
| Tekanan output | 0. 5-1. 5mpa (laras, disesuaikan dengan standard pengambilan udara peralatan semikonduktor) |
| Julat aliran | 10-5000 nm³/h (menyokong pengembangan selari pelbagai unit) |
| Titik embun | Kurang daripada atau sama dengan -70 ijazah (untuk mengelakkan wap air daripada mencemarkan persekitaran proses) |
| Kecekapan tenaga | Kurang daripada atau sama dengan 0. |
| Tahap bunyi | Kurang daripada atau sama dengan 65dB (struktur getaran rendah + shell soundproof, selaras dengan standard bilik bersih kelas 1000) |
Kelebihan teras penjana oksigen PSA

Jaminan kesucian ultra tinggi
Katil penapis molekul dua lapisan dan unit pengoksidaan pemangkin digunakan untuk menghilangkan kekotoran seperti hidrokarbon dan CO₂, dan kesucian oksigen mencapai lebih daripada 99.5%, memenuhi standard separuh F20. Penganalisis dalam talian masa nyata terbina dalam, penyegerakan data ke sistem SCADA kilang untuk memastikan kestabilan proses.
Kawalan pintar dan reka bentuk yang berlebihan
Sistem kawalan PLC+HMI bersepadu, menyokong pemantauan jarak jauh, kesalahan diagnosis diri dan penukaran kecemasan (pensiman berlebihan dua menara). Teknologi Pampasan Tekanan Automatik untuk mengatasi permintaan aliran tinggi seketika peralatan semikonduktor.
Penyelesaian penjimatan tenaga rendah karbon
VPSA (Tekanan Swing Tekanan Vakum) Teknologi Synergistik mengurangkan penggunaan tenaga, menjimatkan 15% -20% tenaga berbanding dengan modul pemulihan haba PSA.
Keserasian bilik bersih
Semua saluran aliran keluli tahan karat + salutan nano untuk mengelakkan pencemaran ion logam; Reka bentuk pengedap kebocoran sifar, lulus ISO 8573-1 kelas 0 pensijilan.
Jenis loji oksigen PSA

Peralatan modular

Peralatan Menara Berkembar

Peralatan kontena
| Pemilihan penjana oksigen PSA ntk95 siri | ||||||
| Tidak | Model | Kapasiti (Nm3/jam) |
Kesucian | Penggunaan kuasa 1nm3 oksigen dihasilkan (kw/h) |
Bilangan botol Fled dalam 12 jam (PCS) |
Pengendali diperlukan |
| 1 | Ntk 95-5 p | 5 | 95%+-1% | 3.54 | 10 | 2 |
| 2 | Ntk 95-10 p | 10 | 95%+-1% | 2.52 | 20 | 2 |
| 3 | Ntk 95-15 p | 15 | 95%+-1% | 2.31 | 30 | 2 |
| 4 | Ntk 95-20 p | 20 | 95%+-1% | 2.13 | 40 | 2 |
| 5 | Ntk 95-25 p | 25 | 95%+-1% | 2.01 | 50 | 2 |
| 6 | Ntk 95-30 p | 30 | 95%+-1% | 2.09 | 60 | 2 |
| 7 | Ntk 95-40 p | 40 | 95%+-1% | 1.81 | 80 | 2 |
| 8 | Ntk 95-50 p | 50 | 95%+-1% | 1.94 | 100 | 2 |
| 9 | Ntk 95-60 p | 60 | 95%+-1% | 1.62 | 120 | 2 |
| 10 | Ntk 95-80 p | 80 | 95%+-1% | 1.92 | 160 | 2 |
| 11 | Ntk 95-100 p | 100 | 95%+-1% | 1.83 | 200 | 2 |
Soalan Lazim
1. Berapa tinggi kemurnian oksigen, dan adakah ia memenuhi keperluan pembuatan semikonduktor?
Penjana oksigen PSA kami untuk semikonduktor secara rutin boleh menghasilkan oksigen dengan kesucian 95%± 3%. Bagi sesetengah proses yang memerlukan kesucian oksigen yang sangat tinggi, dengan menyesuaikan parameter peralatan, kesucian output oksigen boleh dikawal secara fleksibel dalam lingkungan 95% - 99.
2. Betapa stabilnya peralatan, dan bolehkah ia memastikan operasi pengeluaran semikonduktor yang berterusan?
Peralatan ini menggunakan mod kerja menara penjerapan berganda, digabungkan dengan sistem kawalan pintar PLC, untuk mencapai bekalan oksigen 24- yang tidak terganggu dan stabil. Mod operasi automatik ini mengelakkan gangguan bekalan gas yang disebabkan oleh penggantian botol manual, menyediakan bekalan gas yang boleh dipercayai dan stabil untuk proses seperti pemendapan filem nipis dan etsa yang sensitif terhadap tekanan udara, dan berkesan mengurangkan risiko gangguan pengeluaran yang disebabkan oleh masalah bekalan gas.
3. Berbanding dengan kaedah bekalan oksigen tradisional, apakah kos penggunaan?
Berbanding dengan tangki penyimpanan oksigen cecair atau silinder gas tekanan tinggi, penjana oksigen PSA kami mengamalkan mod pengeluaran oksigen di tapak, yang sangat menjimatkan pengangkutan oksigen dan kos penyimpanan. Peralatan ini menduduki kawasan kecil dan boleh diperluaskan secara modular, mengurangkan kos sewa tapak. Dalam jangka masa panjang, kosnya adalah kira -kira 20% lebih rendah daripada kaedah bekalan oksigen tradisional, yang menjimatkan kos operasi dengan ketara.
4. Adakah penyelenggaraan peralatan rumit? Berapa lama kitaran penyelenggaraan?
Peralatan ini mudah dikekalkan, menggunakan keluli tahan karat gred makanan dan saringan molekul pembersihan diri, yang sangat mengurangkan beban kerja penyelenggaraan. Di bawah keadaan biasa, kitaran penyelenggaraan adalah selagi 3-5 tahun, dan kami dilengkapi dengan pasukan selepas jualan profesional untuk memberikan sokongan teknikal pada bila-bila masa untuk membantu anda menyelesaikan masalah semasa operasi peralatan.
Bertindak sekarang untuk menjamin rantaian bekalan oksigen anda
✅ Penyelesaian yang disesuaikan:
Beritahu kami kapasiti katil dan permintaan puncak untuk cadangan yang disesuaikan.
✅ Penghantaran pantas:
Modul pra-kejuruteraan yang dihantar dalam 8-12 minggu.
✅ Pilihan Pembiayaan:
Rancangan pajakan ke milik tersedia.
Nombor telefon
+86 15888864725
Nombor whatsapp
+86 15888864725
E-mel
sales@newtek-group.com

Cool tags: Penjana oksigen PSA untuk semikonduktor, China PSA Oxygen Generator untuk Semikonduktor, Pembekal, Kilang, Loji oksigen PSA
Seterusnya
Penjana oksigen perubatanHantar pertanyaan
Hubungi
Tulis Mesej Anda














