Pembangunan Loji Oksigen VPSA

Pada tahun 1891, syarikat Jerman Linde mula bekerja pada pencairan udara di makmal syarikat pengeluar mesin penyejukan.
Pada tahun 1895, Profesor Linde membuat peranti udara cecair pertama menggunakan kesan Joule-Thomson.
Pada tahun 1901, Linde menubuhkan sebuah kilang pembuatan peralatan kriogenik di Munich.
Pada tahun 1902, peralatan pemisahan udara untuk menara pembetulan satu peringkat pertama yang direka oleh Linde telah siap. French Kraut mencipta mesin pengembangan dan menubuhkan syarikat Air Liquefaction di Paris.
Pada tahun 1903, Linde membuat penjana oksigen 10m3/j industri pertama, menggunakan proses pendikit tekanan tinggi.
Pada tahun 1910, Perancis membuat penjana oksigen 50m3/j pertama menggunakan proses tekanan sederhana dengan mesin pengembangan omboh.
Pada tahun 1920, Hyland, Jerman, mencipta proses tekanan tinggi untuk menghasilkan oksigen cecair dengan mesin pengembangan tekanan tinggi.
Pada tahun 1924, Frankel mencadangkan bahawa dalam peralatan pemisahan udara yang besar, penyejuk berisi logam harus digunakan dan bukannya penukar haba biasa.
Pada tahun 1926, Frankel mencadangkan penumpuk sejuk bentuk biasa.
Pada tahun 1930, Linde membuat unit Linde Frankel berskala industri pertama dengan keluaran 255m3/j dan ketulenan 99.5 peratus O2.
Pada tahun 1932, turboexpander digunakan buat kali pertama pada unit Linde-Frankel. Oksigen pertama kali digunakan dalam metalurgi dan sintesis ammonia di Jerman.
Pada tahun 1939, Kesatuan Soviet mencipta turboexpander berkecekapan tinggi, dan mula mengkaji peralatan pemisahan udara tekanan rendah penuh.
Pada tahun 1947, Linde mendedikasikan dirinya kepada peralatan pembuatan oksigen industri tekanan bawah penuh. Kesatuan Soviet mula mereka bentuk loji oksigen industri besar dengan proses tekanan rendah penuh.
Pada tahun 1949, Amerika Syarikat buat pertama kalinya dalam 29000m3/h penjana oksigen pada permohonan plat meledingkan penukar haba.
Pada tahun 1952, Austria mula-mula menggunakan penukar atas oksigen tulen untuk membuat keluli, menyebabkan peningkatan mendadak dalam oksigen metalurgi.
Pada tahun 1955, Amerika Syarikat bersungguh-sungguh membangunkan peluru berpandu dan menggunakan sejumlah besar oksigen cecair sebagai pemecut.
Pada tahun 1957, penjana oksigen 120 tan/hari pertama yang beroperasi secara automatik telah dibuat.
Pada tahun 1960, Jepun menyiapkan 10000m3/j99.6 peratus O2 dan 10000m3/j99.99 peratus N2 dua kali ganda ketulenan tinggi peralatan voltan rendah penuh skala besar.
Pada tahun 1972, Perancis membuat peralatan pemisahan udara oksigen tulen terbesar di dunia: 1700 tan/hari O2 dan 1500 tan/hari N2.
Unit yang lebih besar masih dalam kajian.